電子級多晶硅是我國發展集成電路產業的戰略原材料，長期以來，生產技術一直由國外壟斷，成為中國發展集成電路產業的瓶頸。隨著國內企業的不斷努力，近年來國內電子級多晶硅迎頭趕上，擺脫國外進口依賴，在質量、產量、出口等方面取得不錯成績，未來，中國多晶硅生產在全球市場具有良好的發展前景。

由于電子級多晶硅高純度的規格，為達到生產要求，企業不僅在生產工藝、生產設備上不斷升級，為確保電子級多晶硅質量不受更多外在因素影響，對生產環境也近乎達到苛刻的要求，目前電子級多晶硅生產的主流方式是西門子改良法，還原爐作為改良西門子法生產多晶硅的核心設備，是影響多晶硅生產和產能的關鍵因素，任何顆粒性雜質、物料等物質余留在爐內，都會對產品質量造成影響。

在多晶硅生產過程中，多晶硅還原爐鐘罩內壁會被高溫混合氣體燒黑，表面沉積一定厚度的多晶硅、無定型硅、高硅氯聚物等雜物，導致還原爐內表面粗糙不平等，影響生產質量、良品率低、生產成本上升、生產效率下降，所以在還原爐運行一個周期結束后，必須對還原鐘罩內部進行清洗，確保電子級多晶硅在高純環境下生產。
 
德高潔作為一家專業的環保設備供應商，早在2009年就研發出多晶硅還原爐清洗系統，并經過對客戶的實際應用和需求，充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢，完成了電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統研發，近年來，德高潔緊跟多晶硅行業生產腳步，技術也在不斷升級更新，一直保持前沿清洗技術，為多晶硅廠商提供與電子級多晶硅生產技術并駕齊驅配套清洗解決方案，旨為電子級多晶硅的高純度生產助力。

德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作臺、萬級凈化干燥系統、循環過濾系統、控制裝置、微負壓系統、清洗工作臺、電氣控制系統等，系統核心部件、元件和附件原裝進口，在確保系統運行穩定可靠前提下，完成對電子級多晶硅還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作。

系統以高壓水射流為動力驅動三維洗罐器，形成360°的網狀噴射表面，完成鐘罩內部表面的水力掃射，用氫氧化鈉溶液等為主要清洗液，用純水漂洗，用高純水沖洗完成清洗過程；隨后用經過三級凈化(10萬級)的純凈空氣，加熱后（50~80℃）烘干加熱鐘罩，再逐步降溫到常溫，通過連續干燥，完成干燥過程。
 
全密閉式清洗烘干系統，使污染物（廢氣、廢水等）在受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了對環境境污染及現場操作人員的安全隱患。系統加多處安全互鎖功能（樓上、樓下操作，缺水保護，超壓保護、漏電保護，水風工作互鎖等），確保安全運行。

德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統自動化程度高，采用PLC+觸摸屏柔性自動控制系統，能實現對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干，清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動或手動功能，一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程，可實現遠程對樓下設備的控制和主要參數監控。
 
除此之外，德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統可根據客戶需求，結合廠商使用的不同鐘罩、車間廠房的情況，能源條件不同，提供個性化設計。目前，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業已擁有國內90%的用戶，為多晶硅行業提供了幾十套還原爐清洗系統。

德高潔成立于1994年，在環保除塵、凈化成套裝備、工業設備清潔領域已積累了近三十年的業內寶貴經驗，期間自主研發并生產了一系列高壓清洗機（120~2800bar）、自動化清洗系統、智能清洗爬壁機器人等，公司擁有20余人研發團隊，旗下部署工藝組、技術組、質檢組，實時管控產品性能、質量，并通過ISO9001質量體系認證。長期服務于國企、軍工、外資、上市公司等500強企業，德高潔將繼續以客戶需求為基準，用現代技術、標準工藝，竭誠為客戶服務。